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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵??梢垣@得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
SHZ-III循環(huán)水真空泵特點:此泵具有不用油、無污染、噪音低、移動方便等優(yōu)點;采取雙抽頭,可單獨或并聯(lián)使用,裝有兩個真空表。儲水箱和主要部件采用新研制特殊防腐工程塑料,機內連接的主管道選用全不銹鋼,耐腐蝕,耐溶解。
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